Описание
Насосы EBARA VOS100 имеют самое высокое отношение скорости откачки к габаритным размерам среди всех представленных на рынке средств сухой вакуумной откачки.
Модель VOS100 основана на базе многоступенчатого насоса Рут уникальной конструкции и предназначена для установки на очень близком расстоянии к камере технологического процесса.
Насосы серии VOS обладают великолепными показателями быстроты действия при минимальном весе, имея очень компактную конструкцию. Отсутствует необходимость в подаче азота для чистых процессов. Исполнение "Р" подходит для откачки агрессивных газов (например, в процессах травления).
Преимущества:
- Компактные габаритные размеры. Идеально подходят для интеграции в системы
- Низкая стоимость владения
- Использование энергосберегающих двигателей постоянного тока
- Нет необходимости продувки азотом в чистых процессах
Вакуумный насос EB
